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稀土专用氢氟酸

稀土专用氢氟酸

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  稀土专用氢氟酸,英文名hydofluoricacid,分子式HF,分子量20.01。为无色透明液体,相对密度1.15~1.18,沸点1122C,在空气中发烟,有刺激性气味,剧毒。能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应,生成多种盐类。腐蚀性很强,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇,难溶于其他有机溶剂。

  稀土专用氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可以与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用,主要应用于集成电路(C)和大规模集成电路(VLSD芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备纯度很高的含氟化学品。目前,在我国基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其他方面用量较少。

  目前世界制备稀土专用氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、气体吸收等技术,这些提纯技术各有特性,各有所长。有的提纯技术如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品,而有的提纯技术如气体吸收技术可以用于大规模的生产。因此,选择工艺技术时应视实际情况而定。另外,由于它具有强腐蚀性,采用蒸馏工艺时所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。

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