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电子级氢氟酸的市场需求
- 2021-08-09-

  电子级氢氟酸是通过进一步处理无水氢氟酸获得的高端氢氟酸产品。主要用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和腐蚀。它是微电子工业生产的关键基础化工原料之一。据海关统计,2017年,我国半导体用高纯电子级氢氟酸8638.98吨,价格在16.9元至27元/千克之间。目前,国内消费量占国内需求的比例不到5%,几乎完全依赖国外。

  目前,主要应用于集成电路、太阳能光伏和液晶显示领域,其中较大的应用市场是集成电路,约占总消费量的47.3%;其次是太阳能光伏领域,约占22.1%;此外,在液晶显示的领域,约占18.3%。

  据集成电路行业人士介绍,半导体中的金属离子杂质会影响少数载流子寿命、表面电导率、栅氧化层完整性和稳定性等参数,而金属离子杂质在高温或电场作用下会扩散到半导体体或扩大其在表面的分布,导致半导体性能下降,因此对金属离子的含量要求非常严格,适用的晶圆半径越大,制造工艺越优良,对金属离子含量的要求就越高。

  半导体用电子级氢氟酸中所有单一金属杂质的质量分数≤ 0.1μG/L,相当于半国际通用标准级中4级(G4)以上的氢氟酸;对应于国内行业标准中up ss及以上的电子氢氟酸。对于世界上主流的12英寸晶圆,制造过程中的金属离子含量需要小于0.0001μG/L,对应于半级5(G5)或sss标准以上。

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