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电子级氢氟酸的用途
- 2021-02-05-

    电子级氢氟酸用于集成电路和大规模集成电路的制造。氢氟酸是主要关键辅助的材料之一,主要用于晶片加工过程中的晶片表面清洗、清洗和刻蚀。在太阳能光伏产业中,它应用于硅片表面清洗、蚀刻剂等领域。从硅锭到硅片再到电池片的工序:清洁和天鹅绒制作将使用该产品。在液晶显示器行业中,用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蚀刻剂等,也较广的应用于TFT-LCD和半导体行业。也可用作分析试剂、原子能工业用化学试剂和高纯含氟化学品的制备。

  产品分类:

  电子级氢氟酸按用途不同分为UPSs、UPS、up、El等牌号。

  UPSs:适用于0.09~0.2μm及<0.09μm的IC工艺。

  UPS级:适用于0.35-0.80um IC加工工艺,金属杂质含量小于1.00ug/l,0.05um孔径过滤,0.20ixm颗粒控制,填充于100级净化环境,达到8级标准。

  上行:适用于1.00um集成电路和TFT-LCD制造工艺。金属杂质含量小于10mg/kg。带0.20um孔径过滤器的过滤器,用于控制0.50um颗粒。灌装100级净化环境,达到7级标准。

  El级:金属杂质含量低于100mg/kg,粒径控制在1.00um,达到半C1、C2标准。适用于中小型集成电路和电子元器件的加工工艺。

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