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我国电子级氢氟酸市场需求多
- 2020-07-29-

     电子级氢氟酸是将无水氢氟酸进一步处理后得到的比较好的氢氟酸产品。氢氟酸主要用于集成电路和较大规模集成电路芯片的清洗和腐蚀领域。它是微电子工业所需的关键基础化工原料之一。据海关统计,2017年,我国外采的比较好的半导体用高纯氢氟酸8638.98吨,外采价格在16.9元至27元/公斤之间。目前,我国氢氟酸消费量仅占国内需求量的不到5%,仍几乎全依赖外采。

  目前,氢氟酸主要运用在集成电路、太阳能光伏和液晶显示屏等领域,其中比较大的应用市场是集成电路,约占电子级氢氟酸总消耗量的47.3%;其次是太阳能光伏领域,占比约22.1%;此外在液晶显示器领域,占比约18.3%。

  按照集成电路产业人士的说法,半导体中的金属离子杂质会影响半导体中少子的寿命、表面的导电性、门氧化物的完整性和稳定性等参数,且金属离子杂质在高温下或电场下会向半导体本体扩散或在表面扩大分布,导致半导体性能下降,因此氢氟酸对其中的金属离子含量有比较严格的要求,且适用的晶圆半径越大,制程越好,对金属离子含量的要求越高。

  半导体用的氢氟酸所有单项金属杂质的质量分数≤0.1μg/L,对应SEMI国际通用标准等级中,为Grade 4(G4)以上等级的氢氟酸;对应国内行业标准中,UP-SS及以上的等级氢氟酸。而对于现在国际上主流的12寸晶圆来说,其制造过程中需要金属离子含量低于0.0001μg/L,对应SEMI Grade 5(G5)或者UP-SSS标准。   

       以上做的电子级氢氟酸的市场分析,仅供大家参考,如有不同意见欢迎来电咨询探讨。