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电子级氢氟酸的重要性
- 2021-10-08-

  根据纯度和用途的分类,氢氟酸分为工业级和电子级:工业级无水氢氟酸可用于制备含氟烷烃、氟化盐、含氟精细化学品等化学品。经超纯水蒸馏吸收后,在0.2mμ以下进行纯化超滤,可制备纯度较高的氢氟酸,技术难度大。在微电子工业中主要用作蚀刻剂和清洗剂。根据纯度分为四个等级。与传统工业氢氟酸行业的有限情况不同,电子级氢氟酸行业的发展近年来得到了政策的允许和鼓励,逆势而上,提高了生产能力。

  电子级氢氟酸主要用于去除氧化物。它用于集成电路、太阳能光伏和液晶显示、芯片、硅片和玻璃基板的清洗和蚀刻、试剂分析和纯度较高含氟化学品的制备等领域。

  纯度较高的氢氟酸价格是工业级氢氟酸的2-3倍,含量是工业级氢氟酸的一半,另一半是高纯度水。

  HF是集成电路工业中的关键辅助材料之一。其纯度和清洁度对集成电路的成品率、电气性能和可靠性有重要影响。

  在半导体制造过程中,50多个环节需要使用纯度较高的氢氟酸,约70%用于清洗,30%用于蚀刻。半导体纯度应为99.999氢氟酸。

  全球对电子级氢氟酸的需求集中在亚太地区、欧洲和北美。近年来,世界市场规模和消费量稳步增长。目前,纯度半导体级氢氟酸的生产技术和供应主要由Stella(产量9万吨)、Daikin、Morita chemical(年产量2万吨)等日本企业掌握。三家日本企业控制着近90%的纯度半导体级(UPSs及以上)氢氟酸生产能力,具有较强的技术优点。