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电子级氢氟酸的类型
- 2021-10-22-

  电子级氢氟酸用于制造集成电路和大规模集成电路。氢氟酸是晶圆加工中的关键辅助材料之一,主要用于晶圆表面的清洗、清洗和蚀刻。在太阳能光伏产业中,它被用于硅片表面清洗、蚀刻剂等领域。该产品将用于从硅锭到硅片再到电池片的过程:清洁和丝绒生产。在LCD行业,它用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蚀刻剂等。它还广泛应用于TFT-LCD和半导体行业。还可用作分析试剂、原子能工业的化学试剂和高纯度含氟化学品的制备。

  产品分类:

  电子级氢氟酸按用途不同可分为UPS、UPS、up、El等品牌。

  UPSs:适用于0.09~0.2μM和<0.09μM的IC工艺。

  UPS级:适用于0.35-0.80um IC加工工艺,金属杂质含量小于1.00ug/l,孔径过滤0.05um,粒径控制0.20ixm,填充在100级净化环境中,达到8级标准。

  上行:适用于1.00um集成电路和TFT-LCD制造工艺。金属杂质含量小于10mg/kg。带有0.20um孔径过滤器的过滤器,用于控制0.50um颗粒。灌装100级净化环境,达到7级标准。

  El级:金属杂质含量小于100mg/kg,粒径控制在1.00um,达到半C1和C2标准。适用于中小型集成电路和电子元器件的加工工艺。

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