电子级氢氟酸是无色透明液体，相对密度1.15~1.18，沸点112.2℃。它在空气中散发烟雾，有刺鼻的气味，并且剧毒。它能与一般金属、金属氧化物和氢氧化物反应生成各种盐。它具有高度腐蚀性，可腐蚀玻璃和硅酸盐，形成气态四氟化硅。易溶于水和乙醇，但难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸是一种强酸清洗和腐蚀剂，可配置硝酸、冰醋酸、过氧化氢和氢氧化铵。

　　电子级氢氟酸的制备方法

　　1、 蒸馏法

　　2、 蒸馏

　　3、 亚沸腾蒸馏

　　4、 减压蒸馏

　　5、 气体吸收

　　生产过程

　　经过化学预处理后，无水氢氟酸进入蒸馏塔。通过蒸馏操作，获得的氟化氢气体在吸收塔中被超纯水冷却和吸收。通过控制喷淋密度和气液比进一步纯化电子氢氟酸，然后在m以下的超滤过程中进行0.2μ的纯化，在密闭、清洁的环境条件下灌装得到产品。

　　用途

　　可用于集成电路和大规模集成电路芯片的清洗和腐蚀。是微电子工业制造过程中的关键基础化学材料之一。也可用作分析试剂和高纯度含氟化学品的制备。在我国，它基本上被用作微电子行业的蚀刻剂和清洗剂，在其他方面的消耗较少。

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