1.分析控制和产品测试要求高。用于电子级氢氟酸制备的仪器有：

　　（1）电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）；

　　（2） 电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-AES）；

　　（3） 原子吸收分光光度计；

　　（4） 氧原子发生无焰原子吸收分析仪；

　　（5） 离子色谱分析仪；

　　（6） 激光散射液体粒子计数器；

　　（7） 水面杂质分析系统；

　　（8） 原子力显微镜；

　　（9） 光学显微镜粒子计数器；

　　（10） 扫描电镜；

　　（11） 光学薄膜厚度测量及表面轮廓仪；

　　（12） 表面张力测试仪；

　　（13） 空气中的尘埃粒子探测器；

　　（14） 水电阻测试仪。

　　2.水质要求高，电阻率不小于18.0mq●cm。

　　高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒。目前生产的氧化硅、氧化剂总浓度等指标都比较高

　　利用反渗透、电渗析等多种膜技术可以得到高纯度的水。

　　3.主要生产设备材料、设备制造工艺、包装工艺要求较严格。

　　4.工厂“房间、分析室、仓库等环境清洁度要求高，与成品接触部分应达到较好的

　　水平。

　　5.整个生产过程对产品质量管理的要求很高。

　　质量标准：

　　目前，由于微电子厂商对电子级氢氟酸的要求不同，可分为四个：

　　① 低品位产品，用于制造大于1.2μm集成电路的工艺技术；

　　② 中低档产品，适用于0.8~1.2μmic；

　　③ 中端产品，适用于0.2-0.6μm集成电路工艺；

　　④ 较好的产品，适用于0.09-0.2μm和<0.09μm集成电路工艺。

　　产品包装方式：采用高密度聚乙烯（或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯）密封工艺制成25kg塑料桶。

　　好了，关于电子级氢氟酸的生产工艺就与大家分享到这里，有什么问题可详细咨询潍坊日腾化工有限公司将竭诚为您服务。