1.分析控制和产品测试要求高。用于电子级氢氟酸制备的仪器有:
(1)电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS);
(2) 电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES);
(3) 原子吸收分光光度计;
(4) 氧原子发生无焰原子吸收分析仪;
(5) 离子色谱分析仪;
(6) 激光散射液体粒子计数器;
(7) 水面杂质分析系统;
(8) 原子力显微镜;
(9) 光学显微镜粒子计数器;
(10) 扫描电镜;
(11) 光学薄膜厚度测量及表面轮廓仪;
(12) 表面张力测试仪;
(13) 空气中的尘埃粒子探测器;
(14) 水电阻测试仪。
2.水质要求高,电阻率不小于18.0mq●cm。
高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒。目前生产的氧化硅、氧化剂总浓度等指标都比较高
利用反渗透、电渗析等多种膜技术可以得到高纯度的水。
3.主要生产设备材料、设备制造工艺、包装工艺要求较严格。
4.工厂“房间、分析室、仓库等环境清洁度要求高,与成品接触部分应达到较好的
水平。
5.整个生产过程对产品质量管理的要求很高。
质量标准:
目前,由于微电子厂商对电子级氢氟酸的要求不同,可分为四个:
① 低品位产品,用于制造大于1.2μm集成电路的工艺技术;
② 中低档产品,适用于0.8~1.2μmic;
③ 中端产品,适用于0.2-0.6μm集成电路工艺;
④ 较好的产品,适用于0.09-0.2μm和<0.09μm集成电路工艺。
产品包装方式:采用高密度聚乙烯(或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯)密封工艺制成25kg塑料桶。
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