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电子级氢氟酸的工艺
- 2020-11-13-

     1.分析控制和产品测试要求高。用于电子级氢氟酸制备的仪器有:

  (1)电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS);

  (2) 电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES);

  (3) 原子吸收分光光度计;

  (4) 氧原子发生无焰原子吸收分析仪;

  (5) 离子色谱分析仪;

  (6) 激光散射液体粒子计数器;

  (7) 水面杂质分析系统;

  (8) 原子力显微镜;

  (9) 光学显微镜粒子计数器;

  (10) 扫描电镜;

  (11) 光学薄膜厚度测量及表面轮廓仪;

  (12) 表面张力测试仪;

  (13) 空气中的尘埃粒子探测器;

  (14) 水电阻测试仪。

  2.水质要求高,电阻率不小于18.0mq●cm。

  高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒。目前生产的氧化硅、氧化剂总浓度等指标都比较高

  利用反渗透、电渗析等多种膜技术可以得到高纯度的水。

  3.主要生产设备材料、设备制造工艺、包装工艺要求较严格。

  4.工厂“房间、分析室、仓库等环境清洁度要求高,与成品接触部分应达到较好的

  水平。

  5.整个生产过程对产品质量管理的要求很高。

  质量标准:

  目前,由于微电子厂商对电子级氢氟酸的要求不同,可分为四个:

  ① 低品位产品,用于制造大于1.2μm集成电路的工艺技术;

  ② 中低档产品,适用于0.8~1.2μmic;

  ③ 中端产品,适用于0.2-0.6μm集成电路工艺;

  ④ 较好的产品,适用于0.09-0.2μm和<0.09μm集成电路工艺。

  产品包装方式:采用高密度聚乙烯(或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯)密封工艺制成25kg塑料桶。

  好了,关于电子级氢氟酸的生产工艺就与大家分享到这里,有什么问题可详细咨询潍坊日腾化工有限公司将竭诚为您服务。