跟我一起来了解电子级氢氟酸
- 2020-07-29-
我们在使用物品之前都需要对其进行了解,只有对产品了解的多,我们才可以比较好的使用它,需要注意的是化学用品的使用,我们需要了解的更多了,所以下面潍坊日腾化工有限公司就带大家一起来了解一下电子级氢氟酸的质量标准和用途相关的资料信息。
一、 质量标准:目前,由于微电子厂商对电子级氢氟酸的要求不同,可分为四个等级:
低品位产品适用于生产>1.2μmic工艺技术。中低档产品,适合生产0.8~1.2μmic工艺技术。中高 档产品,适合生产0.2~0.6μm的mic工艺技术;比较好的产品(UPSs)适用于0.09~0.2μm和<0.09μm集成电路工艺。
用途:主要用于集成电路(IC)和比较大的规模集成电路(visi)的制造。电子级氢氟酸是关键的辅助材料之一,主要用于晶圆表面清洗、芯片加工清洗和蚀刻等工艺。在太阳能光伏产业中,它被用于硅片表面的清洁和蚀刻。从硅锭到硅片,再到电池片的一道工序,产品将用于清洗和植绒工序。在液晶显示器行业,它用于玻璃基板清洗和二氧化硅蚀刻。它还比较多的应用于TFT-LCD和半导体行业。也可用作分析试剂。用原子能工业化学试剂盒制备纯度高的含氟化学品。目前,在我国微电子工业中,它基本上被用作腐蚀剂,其它方面的用量较少。
3、 产业发展:我国实现无水氢氟酸工业化生产以来,为我国进入高纯氢氟酸提供了原料保障。
好了,今天的介绍就到这里了,希望今天的介绍可以帮助到您。
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