Banner
首页 > 行业知识 > 内容
石墨专用氢氟酸生产起来有多难
- 2020-03-09-

  前段时间,日本和韩国两个邻居又吵起来了,而日本直接使出了大招,限制高纯氟化氢、氟聚酰亚胺和光刻胶向韩国出口。这三种材料都是半导体行业使用的,掐中了韩国的命脉。今天说说,这个石墨专用氢氟酸,生产起来有多难。

  氟化氢和HF

  氟化氢是一种有毒气体,溶于水形成氢氟酸。它是一种弱酸,具有特殊腐蚀性,所谓特殊腐蚀性,是指它能腐蚀其他强酸所不能腐蚀的玻璃、单晶硅等半导体材料。在半导体生产工艺中有重要应用。

  它的生产并不困难,其主要原料是萤石,而我国萤石的探明储量与南非并列,按说是具有自己的优势的。但应用于半导体生产的HF可不是普通的HF,是超净高纯的电子级氢氟酸。普通工业级HF,洗个玻璃还行,用来洗半导体,基本上只能生产出废品来。因为普通工业级HF,含有大量杂质,这些杂质对芯片生产是要命的。

  那高纯氟化氢有多纯呢?以前我们都听说过千足金的说法,也就是纯度很高,只含有0.1的杂质,后来又有人提出万足金,就是只含有0.01的杂质。而日本产的上限纯度的石墨专用氢氟酸纯度为99.9999999999甚至更高,这个在目前新的芯片生产工艺中都可以使用。而中国目前能生产的较高的纯度也比这个纯度低十倍左右,而这只是其中一个指标,此外还有控制粒径、颗粒个数等指标。

  看到这里,你是不是对于我国的生产工艺与日本的差距有了一个大体的了解了?石墨专用氢氟酸的生产这么难,我们还需要继续研究,取得更大的进展。