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电子级氢氟酸

电子级氢氟酸

产品详情

  电子级氢氟酸对金属和玻璃有很强的腐蚀性,是重要的化学试剂,因其具有清洗和蚀刻的两大功能而普遍应用于半导体、太阳能面板和液晶面板的制作过程中。它对于微电子行业的安全性具有很重要的作用,在其生产、测试、包装、运输等各个环节均有严格的管控制度,以保障质量进而保障微电子产品制作过程的顺畅。

  生产技术:

  电子级氢氟酸一般可通过精馏、亚沸蒸馏、气体吸收等工艺制备。由于氢氟酸的强腐蚀性,因此采用蒸馏工艺时所使用的蒸馏设备一般以铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯材料制造。

  目前我国较为常用的工艺路线是精馏法,其过程大致为:原料酸-+化学处理-→连续精馏-→吸收塔->超净过滤-+成品分装-+包装。

  无水氢氟酸中所含的大部分杂质一般以氟化物的形式存在,具有很高的沸点,所以在精馏过程中能被较好地分离出去。杂质中三氟化砷的沸点相对氢氟酸差距较小,因而增加了杂质砷的去除难度。只是依靠精馏操作对其分离的效果欠佳,砷的前期处理成为生产的一个关键工序。

电子级氢氟酸生产过程中脱除砷的方法主要经历了硫化物法、电解法、离子交换法和氧化法等。

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